[아이뉴스24 윤선훈 기자] 세계 1위 반도체 장비업체인 어플라이드머티어리얼즈가 사물인터넷(IoT), 클라우드 컴퓨팅에 사용되는 대량 생산 솔루션 '엔듀라(Endura)' 플랫폼을 지난주 해외서 처음 선보이며 차세대 메모리 양산을 위한 작업에 본격 착수했다.
최범진 어플라이드머티어리얼즈코리아 상무는 17일 이 플랫폼에 대한 국내 기자간담회에서 "2022년이 되면 기계가 처리해야 하는 데이터의 양은 인간이 처리하는 데이터량의 10배 이상이 될 것으로 예측되는데, 총 10ZB(제타바이트) 이상으로 추산된다"며 "반도체 칩 단계에서 이를 어떻게 소화할 것인지가 관건"이라고 말했다.
이날 어플라이드머티어리얼즈가 소개한 플랫폼은 크게 M램 생산을 지원하는 '엔듀라 클로버(Clover) MRAM PVD'와 PCRAM(P램)과 ReRAM 생산을 지원하는 '엔듀라 임펄스(Impulse) PVD'로 나뉜다. 공통적으로 이들 차세대 메모리에 사용되는 새로운 금속 물질들을 원자층 단위의 정밀도로 증착할 수 있도록 한 것이 특징이다. 이를 통해 M램, PCRAM 등 차세대 메모리 양산의 발판을 마련했다는 것이 회사 측의 설명이다.
현재 주로 많이 쓰이는 메모리반도체로는 D램과 낸드플래시가 있다. M램과 PCRAM, ReRAM은 아직 본격적인 양산 단계는 아니지만, 기존 낸드플래시보다 속도가 훨씬 빠르면서도 D램과 달리 전원이 꺼져도 데이터가 유지된다는 장점을 가지고 있어 차후 기존 메모리반도체를 대체할 제품으로 꼽힌다.
M램은 자성체에 전류를 가해 발생하는 자기저항 효과를 이용한 메모리반도체이며, PCRAM과 ReRAM은 신소재를 활용해 빠른 속도와 데이터 비휘발성을 동시에 구현한다. 셋 모두 D램과 낸드플래시의 장점만을 갖춘 동시에 소비 전력, 다이 사이즈는 기존 메모리에 비해 줄일 수 있다. 삼성전자와 SK하이닉스도 현재 이들 차세대 메모리 개발에 착수한 상황이다.
'엔듀라 클로버 MRAM PVD'는 주로 사물인터넷 구현에 적합한 M램 생산에 특화된 플랫폼이다. 최대 9개의 웨이퍼 공정 챔버들로 구성되는데, 각 챔버당 최대 5개 개별 물질 박막을 증착할 수 있다. 이로써 업계 최초로 대량 생산용 300mm M램 시스템을 구현하는 데 성공했다.
프라부 라자 어플라이드머티어리얼즈 반도체 제품 그룹 부사장 겸 총괄매니저는 "새로운 MRAM PVD 플랫폼은 어플라이드머티어리얼즈가 그간 개발한 반도체칩 생산용 시스템 가운데 가장 정교한 시스템"이라며 "컴퓨팅 산업에서 요구하는 성능 향상과 함께 소모전력 비용의 감소를 동시에 충족시킬 수 있는 완전히 새로운 방법이 될 수 있다"고 언급했다.
'엔듀라 임펄스 PVD'는 클라우드 컴퓨팅을 위한 PCRAM(Phase Change RAM)과 ReRAM(Resistive RAM) 양산에 특화됐다. 차세대 메모리에 사용되는 다성분계 소재의 정밀한 증착과 통제가 가능하도록 하는 내장형 계측기(OBM)와 최대 9개의 웨이퍼 공정 챔버들로 구성된다.
진성곤 SK하이닉스 첨단 박막 기술 담당은 "데이터센터의 효율 개선은 클라우드 서비스를 제공하는 사업자와 고객 기업들이 가장 우선시하는 사안 중 하나"라며 "SK하이닉스는 데이터센터의 성능을 대폭 높이고 동시에 소비전력을 낮추는 데 도움을 줄 수 있는 차세대 메모리의 개발을 주도하고 있는데, 이를 위해 어플라이드머티어리얼즈와 신소재 및 대량 생산 기술 개발 등에서 협업하고 있다"고 말했다.
다만 M램 등 차세대메모리의 경우 대규모 용도로 활용할 수 있는 애플리케이션이 활성화되지 않았고, 아직 기술적으로 D램과 낸드플래시의 장점을 온전히 구현하기 어려운 점 등의 문제로 본격적인 시장이 열리지는 않았다는 평가다. 실제로 이날 기자간담회에도 시장 상황에 비해 다소 이른 솔루션 출시 아니냐는 지적이 나왔다.
그러나 회사 측은 자신감을 나타냈다. 박래학 어플라이드머티어리얼즈코리아 전무는 "올해 글로벌 1억 달러(한화 약 1천200억 원) 수준의 매출을 목표로 잡고 있으며 충분히 양산이 적용될 것으로 본다"며 "현재 클로버 PVD는 5곳의 고객사와, 임펄스 PVD는 8곳의 고객사와 공동 개발 중"이라고 말했다. 특정 업체명은 언급하지 않았지만 이 중에는 국내 업체들도 포함됐다.
한편 어플라이드머티어리얼즈코리아 측은 이날 기자간담회 서두에 미·중 무역분쟁 및 일본 수출규제 관련 질문은 받지 않겠다고 미리 선을 그었다. 박래학 어플라이드머티어리얼즈코리아 전무는 "미국 회사다 보니 미·중 무역분쟁 영향이 있고, 한국지사다 보니 일본 수출규제에도 신경을 쓰고 있다"면서도 "관련해 궁금한 부분이 많겠지만 해당 사항을 어플라이드머티어리얼즈코리아 측에서 언급하기는 어렵다"고 말했다.
윤선훈 기자 krel@inews24.com
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